'1 仪器简介 三坐标测量仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量机或三坐标量床。三坐标测量仪又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。
2 应用领域　　三坐标测量仪主要用于机械、航空航天、汽车零部件、五金、模具等行业的轮廓和表面形状尺寸、角度及位置、齿轮、凸轮、蜗轮、蜗杆、叶片、曲线、曲面测量，也可以对工件的尺寸、形状和形位公差进行精密检测，从而完成零件检测、外形测量、过程控制等任务。提高了客户的工作效率。
     制造业中的质量目标在于将零件的生产与设计要求保持一致。保持生产过程的一致性要求对制造流程进行控制。建立和保持制造流程一致性最为有效的方法是准确地测量工件尺寸，获得尺寸信息后，分析和反馈数据到生产过程中，使之成为持续提高产品质量的有效工具。
三坐标测量仪是测量和获得尺寸数据的最有效的方法之一，它可以代替多种表面测量工具及昂贵的组合量规，并把复杂的测量任务所需时间从小时减到分钟，并快速准确地评价尺寸数据，为操作者提供关于生产过程状况的有用信息。思瑞测量制造业提供全面的测量解决方案。目前思瑞测量生产的三坐标测量仪已是国内三坐标测量仪生产和销量排名第一的企业。
3 机型介绍　　行 程： x轴 2500 mm
　　y轴 1500 mm
　　z轴 1000 mm
　　结构型式：三轴花岗岩、四面全环抱的德式活动桥式结构
　　传动方式：直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承
长度测量系统：renishaw开放式光栅尺，分辨率为0.1μm
　　测头系统：雷尼绍控制器、雷尼绍测头、雷尼绍测针
　　机 台：高精度（00级）花岗岩平台
　　使用环境：温度(20±2)℃，湿度40%-70% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h
　　空气压力：0.4 mpa - 0.6 mpa
　　空气流量：25 l/min
　　长度精度mpee： ≤2.1+l/350 (μm)
　　探测球精度mpep： ≤2.1μm
4 主要特征　　1.三轴采用天然高精密花岗岩导轨，保证了整体具有相同的热力学性能，避免由于三轴材质不同热膨胀系数不同所造成的机器精度误差。
花岗岩与航空铝合金的比较：
　　1）铝合金材料热膨胀系数大（参数见下表）。一般使用航空铝合金材料的横梁和z轴在使用几年之后，三坐标的测量基准——光栅尺就会受损，精度改变。
　　材料   比重（kg/dm³）   热膨胀系数（1/k）   截面导热率（w/mk）  
　　钢   7.80   10.4x10   42-63  
　　航空铝合金   2.90   23.8x10   210  
陶瓷材料   3.40   8.0x10   28  
　　花岗岩   2.77   6.5x10   3.5  
　　2）由于三坐标的平台是花岗岩结构，这样三坐标的主轴也是花岗岩材质。主轴采用花岗岩而横梁和z轴采用铝合金等其他材质，在温度变化时会因为三轴的热膨胀系数不均同而引起测量精度的失真和稳定。
　　2. 三轴导轨采用全天然花岗岩四面全环抱式矩形结构，配上高精度自洁式预应力气浮轴承，是确保机器精度长期稳定的基础，同时轴承受力沿轴向方向，受力稳定均衡，有利于保证机器硬件寿命。
　　3. 采用小孔出气专利技术，耗气量为30l/min，在轴承间隙形成冷凝区域，抵消轴承运动摩擦带来的热量，增加设备整体热稳定性。仔细研究各厂家的技术指标，会发现： 欧潼精密的耗气量为30l/min，而其他的厂家在50-150l/min之间. 按照物理学理论，当气体以一定的压力通过圆孔的时候，会因为气体摩擦产生热量，在高精密测量中，微小的热量也会影响精度的稳定性，而当出气孔的孔径小于一定的直径的时候，却会相反的会在出气孔的周围形成冷凝效应! 正是利用这一物理学原理，采用欧潼小孔出气的技术，使得冷凝效应恰恰抵消测量中因为空气摩擦产生的微弱热量，使得设备保持长时间的温度稳定性，从而保证精度稳定性！
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