张家港晋宇达电子科技有限公司
步进重复投影曝光(stepping-repeating project printing或称作stepper)。80年代末~90年代,0.35μm(i line)~0.25μm(duv)。掩膜板缩小比例(4:1),曝光区域(exposure field)22×22mm(一次曝光所能覆盖的区域)。增加了棱镜系统的制作难度。
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。由于我们的客户遍布全国各地,我们有专业的设备存储,运输及调试的一条龙服务团队。
分类光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动a手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的x轴,y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了
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